Нанопечатная литография (англ. nanoimprint lithography) — технология, предназначенная для переноса изображения наноструктуры или электронной схемы на...

интерференционная литография Ионно-лучевая литография Нанопечатная литография Рентгеновская литография Ультрафиолетовая литография Фотолитография Электронная...

удаляются снимателем. Электронная литография Ионно-лучевая литография Нанопечатная литография Рентгеновская литография Фотолитография в глубоком ультрафиолете...

λ=10—100 нм; рентгеновская литография, λ=0,1—10 нм; электронная литография; ионно-лучевая литография; нанопечатная литография. Приёмы применяемой фотолитографии...

параметры установки с одним пучком): Фотолитография Ионно-лучевая литография Нанопечатная литография Аброян И. А., Андронов А. Н., Титов А. И. Физические основы...

системы литографии обеспечивают разрешение около 10 нм. Фотолитография Электронная литография  Нанопечатная литография Электронная литография Фокусируемый...

фотолитографии у компании есть разработки в области нанопечатной литографии. В России использование степперов (литографов) ASML планировалось (по состоянию на 2008 год)...

(EUV) литография) и рентгеновскому излучению (рентгеновская литография). Кроме того, существуют специальные фоторезисты для наноимпринтной (нанопечатной) литографии...

конце 2023 года компания объявила о разработке оборудования для нанопечатной литографии, способное изготавливать микросхемы по техпроцессу до 5 нанометров...

XR-1541). Хранится до полугода при 5 °C. Резист применяется в нанопечатной литографии так как чувствителен к области крайнего ультрафиолета. Материал...