короткой де-Бройлевской длине волны электронов по сравнению со светом (см. Волновая механика). Электронная литография является основным методом получения...
25 KB (1,562 words) - 17:14, 8 October 2024
Фотолитография (redirect from Оптическая литография)
излучение (рентгеновская литография), поток электронов (электронно-лучевая литография) или ионов (ионно-лучевая литография) и другое. Наименьшие размеры...
28 KB (1,505 words) - 18:29, 2 September 2024
энциклопедия : [в 30 т.] / гл. ред. А. М. Прохоров ; 1969—1978, т. 30). Электронная микроскопия / А. Е. Лукьянов // Экслибрис — Яя. — М. : Советская энциклопедия...
27 KB (1,529 words) - 12:34, 14 October 2024
интерференционная литография Ионно-лучевая литография Нанопечатная литография Рентгеновская литография Ультрафиолетовая литография Фотолитография Электронная литография...
2 KB (118 words) - 10:12, 21 June 2016
для всех других методов литографии. Фотолитография Электронная литография Ионно-лучевая литография Гусев А. И.: Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии...
3 KB (151 words) - 19:08, 20 August 2020
Ионно-лучевые системы литографии обеспечивают разрешение около 10 нм. Фотолитография Электронная литография Нанопечатная литография Фокусируемый ионный...
7 KB (401 words) - 04:30, 28 August 2024
Планарная технология (redirect from Литография (микроэлектроника))
λ=10—100 нм; рентгеновская литография, λ=0,1—10 нм; электронная литография; ионно-лучевая литография; нанопечатная литография. Приёмы применяемой фотолитографии...
38 KB (2,227 words) - 09:38, 11 October 2024
запись информации (в том числе голограмм), электронная литография, производство многослойных структур. Электронно-лучевым плавлением получают особо чистые...
7 KB (437 words) - 01:55, 19 July 2024
компания, разрабатывающая установки безмасочной[англ.] многолучевой электронной литографии для полупроводниковой индустрии. Mapper расположена в Делфт, вблизи...
14 KB (784 words) - 18:38, 30 September 2024
транспортировки пучка и т.д. Электронная пушка Квадрупольная линза Электронный микроскоп Системы электронной литографии Оптика Рентгеновская оптика Ускоритель...
5 KB (290 words) - 16:18, 16 February 2024
(вторичная электронная эмиссия на отражение), так и с противоположной поверхности (вторичная электронная эмиссия на прострел). Поток вторичных электронов складывается...
8 KB (467 words) - 01:23, 15 June 2020