короткой де-Бройлевской длине волны электронов по сравнению со светом (см. Волновая механика). Электронная литография является основным методом получения...

интерференционная литография Ионно-лучевая литография Нанопечатная литография Рентгеновская литография Ультрафиолетовая литография Фотолитография Электронная литография...

излучение (рентгеновская литография), поток электронов (электронно-лучевая литография) или ионов (ионно-лучевая литография) и другое. Наименьшие размеры...

для всех других методов литографии. Фотолитография Электронная литография  Ионно-лучевая литография Гусев А. И.: Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии...

системы литографии обеспечивают разрешение около 10 нм. Фотолитография Электронная литография  Нанопечатная литография Электронная литография Фокусируемый...

λ=10—100 нм; рентгеновская литография, λ=0,1—10 нм; электронная литография; ионно-лучевая литография; нанопечатная литография. Приёмы применяемой фотолитографии...

энциклопедия : [в 30 т.] / гл. ред. А. М. Прохоров ; 1969—1978, т. 30). Электронная микроскопия / А. Е. Лукьянов // Экслибрис — Яя. — М. : Советская энциклопедия...

запись информации (в том числе голограмм), электронная литография, производство многослойных структур. Электронно-лучевым плавлением получают особо чистые...

транспортировки пучка и т.д. Электронная пушка Квадрупольная линза Электронный микроскоп Системы электронной литографии Оптика Рентгеновская оптика Ускоритель...

компания, разрабатывающая установки безмасочной[англ.] многолучевой электронной литографии для полупроводниковой индустрии. Mapper расположена в Делфт, вблизи...

Рентгеновская литогра́фия — технология изготовления электронных микросхем; вариант фотолитографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью...