Unter dem Begriff Trockenätzen fasst man in der Halbleitertechnologie und in der Mikrosystemtechnik eine Gruppe von subtraktiven (abtragenden) Mikrostrukturverfahren...

ganzflächigen Abscheidung (physikalische Gasphasenabscheidung) leicht durch Trockenätzen strukturieren lässt. Heutige Spitzenprodukte benötigen jedoch bessere...

kalifornischen Fremont ansässige Unternehmen stellt vor allem Anlagen für das Trockenätzen unterschiedlicher Materialien her. Damit steht Lam Research in Wettbewerb...

ist notwendig, da die Schicht in den nachfolgenden Prozessschritten (Trockenätzen, Ionenimplantation) stark beansprucht wird. Abschließend wird der gesamte...

den Leiterbahnen) sowie die einfache Strukturierbarkeit mithilfe von Trockenätzen ausschlaggebend. Seit Anfang der 2000er Jahre wird Aluminium jedoch zunehmend...

isotropen (richtungsunabhängig) Ätzverfahren. Das anisotrope Plasmaätzen (Trockenätzen, Reaktives Ionen Ätzen, RIE) ist der heute vorherrschende Prozess zur...

Strukturierung der Wafer eine große Herausforderung dar, da während des Trockenätzens des Wafers auch die Dicke der Lackschicht reduziert wird. Die Ätzresistenz...

heise online. Abgerufen am 1. November 2016.  V. Ney: Lichtinduziertes Trockenätzen von Kupfer und Kobalt mit Chlor. Hrsg.: Freie Universität Berlin, Fachbereich...

Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes Trockenätz-Verfahren, das besonders in der Halbleiter-, Mikrosystem- und Displaytechnik großtechnisch...

die schwer entfernbare Rückstände bilden, wenn sie durch das Trockenätzen strukturiert werden. Des Weiteren bieten die geneigten Seitenwände Vorteile...

'geschrieben' und anschließend durch ein geeignetes Ätzverfahren (Nass-/Trockenätzen) 'freigelegt'. Die dadurch entstehenden Mesen können nun freistehend...