Cobaltdisilicid – Wikipedia

Kristallstruktur
_ Co2+ 0 _ Si−
Allgemeines
Name	Cobaltdisilicid
Andere Namen	Kobaltsilizid Cobaltdisilicid
Verhältnisformel	CoSi2
Kurzbeschreibung	grauer geruchloser Feststoff[1]
Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer 12017-12-8 EG-Nummer 234-616-8 ECHA-InfoCard 100.031.457 Wikidata Q4162124
Eigenschaften
Molare Masse	115,11 g·mol−1
Aggregatzustand	fest[1]
Dichte	5,3 g·cm−3[1]
Schmelzpunkt	1277 °C[1]
Löslichkeit	praktisch unlöslich in Wasser[1]
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung[1] Gefahr H- und P-Sätze H: 334​‐​315​‐​319​‐​317​‐​335 P: 302+352​‐​333+313​‐​337+313​‐​304+340​‐​312​‐​280​‐​332+313[1]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Cobaltdisilicid ist eine chemische Verbindung des Cobalts aus der Gruppe der Silicide.

Cobaltdisilicid kann durch Reaktion von Cobalt mit Silicium gewonnen werden.^[2]

${\displaystyle \mathrm {Co+2\ Si\longrightarrow CoSi_{2}} }$

Cobaltdisilicid ist ein grauer, geruchloser Feststoff, der praktisch unlöslich in Wasser ist.^[1] Er besitzt eine kubische Kristallstruktur vom Fluorittyp mit der Raumgruppe Fm3m (Raumgruppen-Nr. 225)Vorlage:Raumgruppe/225.^[2]

Cobaltdisilicid wird vielfältig in der chemischen Forschung eingesetzt.

In der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik wird Cobaltsilicid für die niederohmige Kontaktierung von Silicium bei der Herstellung von hochintegrierten Schaltkreisen (VLSI) in 250-nm- bis 90-nm-Technik verwendet.^[1] Es löste zunächst das gängige Titandisilicid ab, wurde dann ab dem 90-nm-Technologieknoten aufgrund von physikalischen Nachteilen zunehmend durch Dinickelsilicid ersetzt (siehe Salicide-Prozess).

Neben Cobaltdisilicid sind mit dem orthorhombischen Co₂Si, dem kubischen CoSi und dem kubischen CoSi₃ mindestens drei weitere Cobaltsilicide bekannt. Zwei weitere, Co₅Si₃ und Co₃Si, sind noch nicht genau untersucht.^[3]

1. ↑ ^{a b c d e f g h i} Kobaltsilizid, graues Pulver, 99 % (Metallbasis). In: Chemikalien › Salze und anorganische Verbindungen › Anorganische Salze › Übergangsmetallsalze. Thermo Fisher Scientific, 2024. Auf ThermoFisher.com, abgerufen am 27. Oktober 2024.
2. ↑ ^{a b} Lih J. Chen, Institution of Electrical Engineers: Silicide Technology for Integrated Circuits. IET, 2004, ISBN 978-0-86341-352-0, S. 78 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). 
3. ↑ Eugene G. Rochow: The Chemistry of Silicon Pergamon International Library of Science, Technology, Engineering and Social Studies. Elsevier, 2013, ISBN 978-1-4831-8755-6, S. 1360 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).