Наноелектромеханічні системи — Вікіпедія

SiTime SiT8008 - це програмований генератор, що досягає кварцової точності з високою надійністю та низькою чутливістю. Нанорозмірні транзистори (лівий бік) та нанорозмірні механічні компоненти (праворуч) вбудовані на один і той же чип.

Наноелектромехані́чні систе́ми або НЕМС — пристрої та технології, що поєднують в собі електронні і механічні компоненти розміром до 100 нм.

Основні параметри

[ред. | ред. код]

Наноелектромеханічні системи є наступним кроком мінітюарізаціі для мікроелектромеханічних систем.

НЕМС використовуються як високочастотні осцилятори (до 10 ГГц), наномотори і модулятори.

Як матеріали для виготовлення НЕМС широко використовуються графен і вуглецеві нанотрубки.

Сучасний стан

[ред. | ред. код]

На початку ХХІ ст., наноелектромеханічні системи можуть виготовлятися як методами зверху-вниз, до яких відносяться традиційні методи мікроелектроніки (оптична та електронно-променева літографія), так і методами знизу-вгору, такими як молекулярне розпізнавання і самоскладання.

Примітки

[ред. | ред. код]

Джерела

[ред. | ред. код]
  • DIN SPEC 1121; DIN ISO/TS 27687:2010-02: Nanotechnologien – Terminologie und Begriffe für Nanoobjekte – Nanopartikel, Nanofaser und Nanoplättchen (ISO/TS 27687:2008); Deutsche Fassung CEN ISO/TS 27687:2009.